- ion-beam nitridation
- jonpluoštis silicio nitrido sudarymas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion-beam nitridation vok. Siliziumnitriderzeugung durch Ionenstrahlung, f rus. ионно-пучковое образование нитрида кремния, n pranc. formation de nitrure de silicium par faisceau d'ions, f
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas. 2000.